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STW210Pro/STW320Plus-全自动晶圆倒膜机

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6”-8”/12”晶圆适用
专利(ZL 2014 2 0559484.3)的真空裂片技术
自动晶圆装卸料
自动晶圆CCD对准
自动晶圆裂片及扩膜
自动已扩膜晶圆照射紫外线
自动晶圆倒膜
工控机+Windows系统
SECS/GEM 或简易联网能力